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光伏行业氢氟酸处理塔-电池片制程HF废气资源化处理系统方案

作者:废气处理设备时间:2025-05-30 11:29 次浏览

信息摘要:

专治硅片清洗/刻蚀工序的HF酸雾,采用两级碱洗+结晶回收工艺,氟化物排放0.5mg/m³,副产工业级氟化钠,实现资源循环利用。...

工艺创新点

1. 高效捕集系统

PTFE丝网除雾器:捕集效率99.5%,阻力<200Pa

预冷装置:-5℃乙二醇冷却,HF浓度降低30%

2. 两级逆流洗涤

参数 一级洗涤塔 二级洗涤塔

碱液类型 Ca(OH)₂悬浊液 NaOH溶液

pH值 10-11 12-13

反应产物 CaF₂沉淀 NaF溶液

3. 氟资源回收

MVR蒸发器:能耗仅为传统蒸发35%,结晶NaF纯度≥98%

污泥压滤:CaF₂滤饼含水率<20%,用于水泥添加剂

防腐解决方案

塔体结构:

内层:3mm厚PTFE板(耐温-196~260℃)

外层:FRP增强层(抗压强度≥200MPa)

喷淋系统:哈氏合金C22喷嘴,寿命5年以上

经济效益分析

以1GW产能线为例:

处理能力:5000m³/h废气

运行成本:

碱耗:0.8kg/kg-HF

电耗:18kW·h/kg-HF

收益:

年回收NaF 150吨(价值75万元)

节省危废处置费200万元/年